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【cnzj5u】三氯氫硅小記

中職教學資源網
資源大類:加工制造類
適用專業:機械加工技術
資源類型:doc
資源大小:243K
資源評價:★
資源扣點:1
整理日期:2019/1/14 19:02:05
下載統計:0
上傳人:[email protected]



資源簡介

三氯氫硅小記
問題一
多晶硅生產中,氮氣的要求是怎么樣的?
一般分1.2MPa,0.6MPa,0.3MPa三種,主要用于管道與設備的吹掃,置換,另外對與氯硅烷滅火有很好的效果。
主要看氧含量和露點,氧含量小于1000ppm,露點-40℃左右。

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